新品晶圓表面用二氧化硅SiO2標準粒子的介紹
產品名稱：
SiO2微粒子標準溶液
納米級別二氧化硅
SiO2標準粒子
晶圓表面用二氧化硅
納米二氧化硅?尺寸標準
MSP Corporation 的 NanoSilica?Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標準目前提供的標稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測系統生產高質量校準標準。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統為表面缺陷校準標準的生產提供了*佳結果，但較舊的 MSP 系統和其他制造商的系統也適用于納米二氧化硅尺寸標準。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標準采用獲得**的 SiO2合成工藝開發，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI *追溯性測量的峰直徑
允許產量提高和計量小組根據 ISO 9000 標準和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的*追溯性。
+ 受到強烈 DUV 輻射時穩*
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時不會降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應用中混合具有適當數量濃度的懸浮液時使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業內*高的之一。
+ 輕松辨別模態（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導致的差異
+ 制備適用于效率相對較高或較低的氣溶膠產生裝置的稀釋懸浮液
+ 為***的檢測工具創建持久的校準標準
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準和*追溯性證書以及帶有處理和處置說明的**數據表 (SDS)
型號
目錄編號
標稱粒徑 [nm]
認證1峰值直徑 [nm]
大約
Size Dist. Width, RFWHM2
1044
NS-0015A
15
14-16
13%
1046
NS-0018A
18
17-19
12%
1047
NS-0020A
20
19-21
11%
1048
NS-0024A
24
23-25
10%
1075
NS-0027A
27
26-28
9%
1049
NS-0030A
30
29-31
8%
1079
NS-0032A
32
31-33
7%
1062
NS-0035A
35
34-36
1076
NS-0037A
37
36-38
6%
1051
NS-0040A
40
39-41
1063
NS-0045A
45
44-46
5%
1052
NS-0050A
50
49-51
1077
NS-0055A
55
53-57
1053
NS-0060A
60
58-62
4%
1067
NS-0064A
64
62-66
1054
NS-0070A
70
68-72
1068
NS-0074A
74
72-76
1055
NS-0080A
80
78-82
1069
NS-0084A
84
82-86
1057
NS-0090A
90
88-92
1070
NS-0094A
94
92-96
1058
NS-0100A
100
98-102
1071
NS-0104A
104
102-106
1059
NS-0125A
125
120-130
1060
NS-0150A
150
145-155
1061
NS-0200A
200
190-210
1給*目錄號的認證直徑將在規*范圍內提供。
2相對半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態直徑。
粒子組成
無*形SiO2
粒子密度
1.9 克/厘米3
折射率
633納米時為1.41英寸
體積
5 毫升
專注
每毫升 1013至 1015顆粒
截止日期
≥ 24 個月
添加劑
乙醇（按質量計 5-20%）
有機穩*劑（<0.1% 質量）
儲存和處理
在室溫下儲存（參見校準和*追溯性證書
更多詳情。
NanoSilica? 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都*選擇，是市面上***、高質量的校正標準，適用于*新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。 ***的半導體檢查技術已經發展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即*做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正，但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當UV光重復打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩*的質量，因此SiO2微粒子是*佳的替代產品。 NanoSilica? 微粒子標準溶液是使用有**的SiO2合成技術，*以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前*小的微粒子尺寸來看，NanoSilica? 微粒子標準溶液是尺寸*均勻，適合做尺寸大小峰值的量測的工具。 NIST-traceable NanoSilica? 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品，加上ISO 9000與SEMI的認證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據。 NanoSilica? 微粒子標準溶液使用15-mL滴*，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。 產品優勢 ?尺寸大小分布均勻 ?NIST traceability 的尺寸大小 ?DUV及EUV的照射下擁有穩*的質量 ?高濃縮度微粒子懸浮溶液 產品效益 ?易于微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值 ?*避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性 ?適合氣膠產生設備使用 ?提供耐久校正標準給先進的檢測設備使用 ?省錢而且耗用量少
滬公網安備 31011502007543號
